电子特气(电子级特种气体)是半导体、显示面板、光伏等行业的关键原材料,其纯度直接影响芯片制造的良率。在高纯电子特气(如SiH₄、PH₃、AsH₃、B₂H₆等)的提纯工艺中,低温制冷机组用于冷凝分离杂质(如水分、重金属、烃类等),确保气体纯度达到要求。
-85℃电子特气提纯制冷机组应用场景与核心需求
应用领域:
半导体前驱体气体(如高纯硅烷、磷烷、砷烷)的纯化。
显示面板用蚀刻气体(如NF₃、CF₄)的深度除杂。
光伏级气体(如氨气、三甲基铝)的低温吸附提纯。
本价格仅为参考报价,准确价格请咨询!
电子特气(电子级特种气体)是半导体、显示面板、光伏等行业的关键原材料,其纯度直接影响芯片制造的良率。在高纯电子特气(如SiH₄、PH₃、AsH₃、B₂H₆等)的提纯工艺中,低温制冷机组用于冷凝分离杂质(如水分、重金属、烃类等),确保气体纯度达到要求。
-85℃电子特气提纯制冷机组应用场景与核心需求
应用领域:
半导体前驱体气体(如高纯硅烷、磷烷、砷烷)的纯化。
显示面板用蚀刻气体(如NF₃、CF₄)的深度除杂。
光伏级气体(如氨气、三甲基铝)的低温吸附提纯。