复叠低温制冷机组
-85℃电子特气提纯制冷机组

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产品型号:KC-25WHDEX

产品价格:341111.00元起

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电子特气(电子级特种气体)是半导体、显示面板、光伏等行业的关键原材料,其纯度直接影响芯片制造的良率。在高纯电子特气(如SiH₄PH₃AsH₃B₂H₆等)的提纯工艺中,低温制冷机组用于冷凝分离杂质(如水分、重金属、烃类等),确保气体纯度达到要求

-85℃电子特气提纯制冷机组应用场景与核心需求

应用领域

半导体前驱体气体(如高纯硅烷、磷烷、砷烷)的纯化。

显示面板用蚀刻气体(如NF₃CF₄)的深度除杂。

光伏级气体(如氨气、三甲基铝)的低温吸附提纯。

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