-85℃电子特气提纯制冷机组

电子特气（电子级特种气体）是半导体、显示面板、光伏等行业的关键原材料，其纯度直接影响芯片制造的良率。在高纯电子特气（如SiH₄、PH₃、AsH₃、B₂H₆等）的提纯工艺中，低温制冷机组用于冷凝分离杂质（如水分、重金属、烃类等），确保气体纯度达到要求。

-85℃电子特气提纯制冷机组应用场景与核心需求

应用领域：

半导体前驱体气体（如高纯硅烷、磷烷、砷烷）的纯化。

显示面板用蚀刻气体（如NF₃、CF₄）的深度除杂。

光伏级气体（如氨气、三甲基铝）的低温吸附提纯。